Nanosensors®   Coatings

반사면 코팅(Reflex Coating)

Reflex 코팅은 캔티레버의 뒷면에 약 30 nm 두께로 알리미늄 코팅을 한 것이다. 이렇게 하여 레이저 빔의 반사도를 약 2.5 Factor 가량 개선하여 캔티레버내에서 빛의 간섭이 되지 않게 한다. 코팅 스트레스에 의한 캔티레버의 밴딩은 캔티레버 길이의 2%(단, 다이몬드 코티드 프로브는 3.5%)이내로 거의 코팅 스트레스를 받지 않습니다.  반사면의 코팅(Reflex coating)은  응용분야가 화학적으로 호환성이 있다면(문제가 안된다면) NCH, CONT, LFM, FM, SEIH... 과 같은 얇은 캔티레버의 경우에는 강력히 추천됩니다.

좌측 그림은 2 µm 두께의 캔티레버 반사면을 코팅하지 않은 반사 강도이며우측은 반사 코팅을 한 반사 강도를 파장에 따라 그림 그래프입니다.강도는 보통 벌크 실리콘이 1 입니다. 

백금 이리디늄5 코팅(PtIr5 Coating)

PtIr5 코팅은 캔티레버의 양측에 크롬과 백금 이리디늄5를 약 25 nm 두께로 이중 막으로 코팅한 것이다. 앞면의 코팅은 팁의 도전성을 증가시키고 전기적 접촉을 가능하게 한다.뒷면의 코팅은 레이저 빔의 반사도를 약 2 Factor 가량 개선하기 때문에 캔티레버내에서의 빛의 간섭이 되지 않게 합니다. 코팅 처리는 스트레스 보정(stress compensation)과 내마모에 최적화 되어 있습니다. 수직 방향으로 휨 방지를 위한 코팅이 되어 있어 밴딩은 캔티레버 길이의 2% 이내입니다.

• 25 nm 두께의 크롬과 백금 이리디늄5 코팅

• 캔티레버 양면 코팅

• 도전성이 있어 전기 측정이 가능하다.

• 반사면이 코팅되어 있어 레이저 빔의 반사도를 2 Factor 정도 증가시켰다.

• 내마모성과 휨 방지 보정이 되어 있다.

강 자화 코팅(Hard Magnetic Coating):

Hard magnetic 코팅은 캔티레버의 팁측에 약 40 nm두께의 코발트 합금 코팅이다. 이렇게 하여 보통 팁축방향으로 영구 자화를 시킨다. 드물게는 팁은 별도의 자석을 가지고 자화를 시킬 필요가 있습니다.(예, 수 밀리미터 크기의 NdFeB 자석). 소프트 자화 시료의 경우는 팁에 의해 영향을 받을 수 있다.　

• 팁면이 40 nm 두께의 코발트합금 코팅

• 팁의 영구 자화

다이아몬드 코팅(Diamond Coating):

다이아몬드 코팅은 캔티레버의 팁측에 다결정의 다이아몬드를 약 100 nm 두께로 코팅한 것이다. 이렇게 하여 팁의 경도를 매우 뛰어나게 한다.　

• CDT 다이아몬드 코팅(Diamond Coating)

CDT 다이아몬드 코팅은 폴리크리스탈린 다이아몬드로 팁의 마모를 최소화하도록 팁면을 약 100nm 두께의 코팅과 Boron과 같은 물질을 약간 도핑하여 전기적 도전성이 있습니다.

팁과 샘플간에 강한 내마모성과 전기적 전도성이 요구되는 응용분야에 적합하도록 팁면에 진성 다이아몬드 코팅과 Boron과 같은 물질을 약간 도핑을 하였습니다. 이 다이아몬드 코팅의 특징은 다이아몬드의 뛰어난 강도 특성을 갖고 있어서 극히 높은 내마모성을 갖습니다. 또한 Boron 과 같은 물질의 약한 도핑으로 다이아몬드 필름이 전도성을 갖습니다. 몇가지 응용사례로는 Tunneling AFM, Scanning Capcitance Microscopy(SCM)을 들 수 있습니다. CDT 다이아몬드 코팅은 Boron과 같은 물질이 약간 도핑되어서 팁과 백금 표면이 접촉시 전체 저항은 10kOhm 이내입니다.

통상적으로 팁의 반경은 100 nm 에서 200 nm 사이입니다. 10 nm 영역에서의 나노거칠기를 갖고 있어 평평한 표면(Flat Surface)에서의 해상도를 개선시켜 줍니다. 반사면은 약 30 nm 두께의 알루미늄으로 코팅되어 있습니다.

• DT 다이아몬드 코팅(Diamond Coating)

DT 다이아몬드 코팅은 폴리크리스탈린 다이아몬드로 팁의 마모를 최소화하도록 팁면을 약 100nm 두께의 코팅이다.

팁과 샘플간에 강한 접촉력이 요구되는 응용분야에 적합하도록 팁면에 진성 다이아몬드 코팅을 하였습니다. 이 코팅의 특징은 다이아몬드의 뛰어난 강도 특성을 갖고 있어서 극히 높은 내마모성을 갖습니다. 통상적으로 팁의 반경은 100 nm 에서 200 nm 사이입니다. 10 nm 영역에서의 나노거칠기를 갖고 있어 평평한 표면(Flat Surface)에서의 해상도를 개선시켜 줍니다. 반사면은 약 30 nm 두께의 알루미늄으로 코팅되어 있습니다.

특수 주문 코팅(Special Coating)

• Gold Coating

• Backside Gold 와 tipside Nitride Coating

• 특수 목적의 Magnetic Coating

• 이외의 특별한 코팅은 문의바랍니다.

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